[28p-B2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[28p-B2-2] Siブロックの真横からのエッチングと3次元ナノ構造作製(2) (1:45 PM ～ 2:00 PM)

^○山崎謙治，山口浩司 (NTT物性基礎研)

キーワード：3Dナノ加工、RIE、EBリソ