[29a-A3-1~7] 16.2 Processing technologies and devices

[29a-A3-7] Thermal Simulation of Amorphous Oxide Thin Film Transistor

^○Satoshi Urakawa¹, Masahiro Horita^1,2, Yasuaki Ishikawa^1,2, Yukiharu Uraoka^1,2 (NAIST¹, CREST²)

Keywords:薄膜トランジスタ、酸化物半導体、デバイスシミュレーション