[29a-G7-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29a-G7-8] ▲Analysis of Microbolometer Operation by Electro-thermal Circuit Simulation (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○Ajay Tiwari，佐藤弘明，青木誠，武田正典，廣本宣久，猪川洋 (静岡大)

キーワード：ボロメータ、電気的熱的シミュレーション