[29p-B1-1~20] 7.4 ナノインプリント

[29p-B1-11] PMMA薄膜の熱ナノインプリントにおけるフッ素液体を用いた液浸効果 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○銘苅春隆，廣島洋 (産総研)

キーワード：ナノインプリント、毛細管架橋、液浸