[29p-G12-1~21] 17.1 成長技術

[29p-G12-19] Single Crystal Graphene by Micro Wave Surface Wave Plasma CVD (5:45 PM ～ 6:00 PM)

^○梅野正義¹，脇田紘一²，内田秀雄³，ハレ ラム アリヤル¹ (中部大総研¹，中部大生健²，中部大工³)

キーワード：Graphene、Micro Wave CVD、Single Crystal