[29p-PA4-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29p-PA4-7] 酸化チタンナノチューブ微小水素ガスセンサの特性に及ぼす水素処理の効果 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○戸邊翼，小島領太，木村康男，庭野道夫 (東北大通研)

キーワード：酸化チタンナノチューブ、ガスセンサ