[17a-S10-1~11] 8.プラズマエレクトロニクス 英語セッション

▼ [17a-S10-5] Characteristics of cluster eliminating filter for plasma CVD

^○Yoshihiro Torigoe¹, Susumu Toko¹, Weiting Chen¹, Daisuke Yamashita¹, Hyunwoong Seo¹, Kunihiro Kamataki¹, Kazunori Koga¹, Masaharu Shiratani¹ (Kyushu Univ.¹)

キーワード：水素化アモルファスシリコン