[17p-A17-1~14] 15.6 IV族系化合物

[17p-A17-13] TiC電極，TiSi2電極とSiC基板のSchottkyダイオード特性評価

^○鈴木智之¹，岡本真里²，宗清修²，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，名取研二¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²)

キーワード：ショットキーダイオード