[18p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[18p-A11-16] マイクロ波照射下における金属酸化物の自己発熱作用を利用した酸化スズ薄膜の作製

大橋拓也，武藤栄，^○奥谷昌之 (静岡大院工)

キーワード：マイクロ波加熱,酸化スズ,透明導電膜