[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-A19-4] 焦電型赤外線センサの感度向上に向けた配線材料薄膜化

^○（M1）米丸翔太¹，大石浩史¹，赤井大輔^1,2，石田誠^1,2 (豊橋技科大工¹，豊橋技科大EIRIS²)

キーワード：赤外線センサ,MEMS,PZT