[19a-A19-1~13] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19a-A19-10] ナノシリコン弾道電子源を用いたⅣ族半導体薄膜の堆積

^○八木麻実子，須田隆太郎，小島明，Mentek Romain，白樫淳一，越田信義 (農工大院工)

キーワード：電子源,薄膜堆積,還元