[20p-A13-1~8] 7.4 ナノインプリント

[20p-A13-5] ナノインプリントにおけるレジスト収縮の影響

^○（M1）栩野貴充，植村公亮，安田雅昭，川田博昭，平井義彦 (大府大)

キーワード：ナノインプリントリソグラフィー,残留応力,収縮