[17a-E10-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17a-E10-4] 常圧リモートプラズマCVDを用いたZnO薄膜の成長

^○（D）野瀬幸則¹，木口拓也¹，中村立¹，吉村武¹，芦田淳¹，上原剛²，藤村紀文¹ (阪府大院工¹，積水化学²)

キーワード：酸化亜鉛,化学気相成長,大気圧プラズマ