[17p-E4-1~17] 3.4 計測光学

[17p-E4-13] 位相シフト法を用いたレーザビーム走査型干渉計による表面形状測定

^○舟窪歩，佐々木修己，崔森悦，鈴木孝昌 (新潟大工)

キーワード：位相シフト法