[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

△ [17p-E5-12] 4H-SiC溶液成長法における凸形状成長による貫通らせん転位の変換挙動

^○古池大輝，梅崎智典，堀尾篤史，原田俊太，田川美穂，宇治原徹 (名大院工)

キーワード：炭化ケイ素,溶液成長,トポグラフィー