[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

△ [17p-E5-13] 触媒表面エッチング法を用いた6インチ4H-SiC基板の平坦化加工

^○礒橋藍¹，佐野泰久¹，岡本武志¹，加藤智久²，山内和人¹ (大阪院工¹，産総研²)

キーワード：SiC,平坦化加工,エッチング