2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

15．結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

2014年3月17日(月) 13:15 〜 16:45 E5 (E105)

14:15 〜 14:30

[17p-E5-5] PVTを用いたSiC結晶成長における不純物混入解析

○柿本浩一1，BingGao1，中野智1，寒川義裕1，西澤伸一2 (九大応力研1，産総研2)

キーワード：シリコンカーバイド,昇華法