18:00 〜 18:15
[17p-F1-16] 窒素中性粒子ビームによるSi表面の窒化
キーワード：シリコンの窒化,中性粒子ビーム
講演情報
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理
[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理
2014年3月17日(月) 14:00 〜 18:15 F1 (F201)
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理
2014年3月17日(月) 14:00 〜 18:15 F1 (F201)
18:00 〜 18:15
キーワード：シリコンの窒化,中性粒子ビーム