[18a-E11-1~8] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[18a-E11-7] Si基板上直接貼付InP層の平坦性向上

^○松本恵一，小冷亮太，岸川純也，下村和彦 (上智大理工)

キーワード：直接貼付法,有機金属気相成長