[18a-PA3-1~2] 7.3 リソグラフィ

[18a-PA3-1] 電子線リソグラフィの分子シミュレーション（2）

道下勝司，^○安田雅昭，川田博昭，平井義彦 (大阪府大院工)

キーワード：電子線リソグラフィ,分子動力学法,ラインエッジラフネス