[18p-D6-1~19] 6.2 カーボン系薄膜

△ [18p-D6-16] ボロンドープチャネルを用いたフッ素終端電解質溶液ゲートFETの作成

^○小林幹典¹，新谷幸弘^1,2，明道三穂¹，川原田洋¹ (早大理工¹，横河電機²)

キーワード：ダイヤモンド、フッ素