[18p-D6-1~19] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-D6-3] 熱混酸およびVUVオゾン処理ダイヤモンド(001)表面の酸素被覆量と構造

^○河野省三¹，寺地徳之²，児玉英之¹，澤邊厚仁¹ (青山学院大理工¹，物材機構²)

キーワード：ダイヤモンド,酸素,XPS