[18p-E13-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-E13-10] HVPEの成長条件が厚膜{20-21} GaNの結晶性に与える影響

^○橋本健宏，山根啓輔，岡田成仁，只友一行 (山口大)

キーワード：HVPE,{20-21}GaN,成長条件