[18p-E13-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-E13-17] 高温CVDにより成長した六方晶BN薄膜の発光特性

^○梅原直己¹，桑原伊織¹，李惠映¹，光野徹也³，小南裕子³，中西洋一郎¹，原和彦^1,2 (静岡大電子研¹，静岡大創造大院²，静岡大院工³)

キーワード：六方晶窒化ホウ素,CVD,カソードルミネッセンス