[18p-F2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[18p-F2-1] 「ビーム応用分科内招待講演」（30分）EUV光利用によるEUVマスク検査技術

^○原田哲男^1,2，渡邊健夫^1,2，木下博雄^1,2 (兵庫県立大学¹，CREST/JST²)

キーワード：EUVリソグラフィー,EUVマスク,コヒーレント回折イメージング