[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

[18p-F3-17] ナノインプリントにおける離型プロセスのシミュレーション(形状・プロセス依存性)

塩津隆弘，植村公亮，^○（B）栩野貴充，安田雅昭，川田博昭，平井義彦 (阪府大)

キーワード：ナノインプリント,離型,シミュレーション