[19a-D8-1~13] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19a-D8-11] i線ステッパによるGaN HEMT微細ゲートプロセス

^○市川弘之，水江千帆子，眞壁勇夫，舘野泰範，中田健，井上和孝 (住友電工伝送デバイス研)

キーワード：GaN,HEMT