[19p-D9-1~18] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

△ [19p-D9-6] 超解像ラマン分光法による微細加工歪SiGe層に生じる応力緩和の高空間分解能2次元分布評価

^○富田基裕^1,2，小瀬村大亮¹，臼田宏治³，小椋厚志¹ (明大理工¹，学振特別研究員DC²，産総研GNC³)

キーワード：歪Si,ラマン分光法,超解像