[19p-E13-1~17] 窒化物半導体特異構造の科学　〜成長・作製と新機能の発現〜

[19p-E13-15] サファイア上AlN緩衝層のN2-COアニールとMOVPE法によるAlN成長

西尾剛¹，鈴木周平¹，^○三宅秀人¹，平松和政¹，福山博之²，徳本有紀³，山田陽一⁴ (三重大院工¹，東北大多元研²，東大生研³，山口大院理工⁴)

キーワード：AlN,窒化物半導体,MOVPE