13:15 〜 13:30
[19p-F9-2] 無欠陥条件Si結晶成長中の熱応力起因によるボイド形成
キーワード：ボイド,シリコン,点欠陥
講演情報
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥
[19p-F9-1~17] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥
2014年3月19日(水) 13:00 〜 17:45 F9 (F401)
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥
2014年3月19日(水) 13:00 〜 17:45 F9 (F401)
13:15 〜 13:30
キーワード：ボイド,シリコン,点欠陥