[19p-F9-1~17] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥

[19p-F9-5] シリコン結晶中のドーパントの拡散機構

^○末澤正志，井上海平，飯島嘉明，米永一郎 (東北大金研)

キーワード：拡散機構,シリコン結晶,ドーパント