[19p-F9-1~17] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥

[19p-F9-8] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学（6）照射結晶中のVOとCiOiの挙動

^○井上直久^1,5，後藤安則²，関洋文³，渡邉香⁴，河村裕一⁵ (東京農工大工¹，トヨタ自動車²，東レリサーチ³，システムズ・エンジニアリング⁴，大阪府立大産学官⁵)

キーワード：シリコン,粒子線照射,赤外吸収