[19p-PA2-1~9] 1.3 新技術・複合新領域

[19p-PA2-5] MOD法によるメンブレン上へのアンテナ結合VO_xマイクロボロメータ検出素子の製作

^○松下亮仁，立木隆，内田貴司 (防衛大理工)

キーワード：テラヘルツ