PDF ダウンロード スケジュール 4 いいね! 1 16:00 〜 18:00 [19p-PG3-11] スパッタリングより形成したAl2O3膜をゲート絶縁膜とするCLC低温poly-Si TFT ○目黒達也,千田大樹,原明人 (東北学院大) キーワード:TFT