[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-12] レーザ結晶化poly-Si薄膜のストレスが誘起するガラスのクラック伝搬

後藤佳祐¹，北原邦紀²，^○原明人¹ (東北学院大工¹，島根大総合理工²)

キーワード：poly-Si,ガラス,クラック