PDF ダウンロード スケジュール 2 いいね! 0 16:00 〜 18:00 [19p-PG3-2] アレイ型MEMS加速度センサ -2軸MEMS加速度センサの検討- ○松島隆明1,小西敏文1,山根大輔2,伊藤浩之2,石原昇2,年吉洋3,町田克之1,2,益一哉2 (NTTアドバンステクノロジ1,東工大2,東大3) キーワード:MEMS,加速度センサ,Accelerometer