[20a-PA1-1~10] 6.4 薄膜新材料

▲ [20a-PA1-6] Deposition of Crystallized Proton Conductive Oxide by RF Magnetron Sputtering

^○（B）佐藤智也¹，内山潔¹，舟窪浩² (鶴岡高専¹，東工大²)

キーワード：プロトン伝導性酸化物,燃料電池,SOFC