[20a-PG1-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-PG1-6] Al組成の異なるAl_xGa_1-xN薄膜のカソードルミネッセンス法による局所スペクトル評価

^○倉井聡¹，合田直樹¹，三宅秀人²，平松和政²，山田陽一¹ (山口大院理工¹，三重大院工²)

キーワード：AlGaN,カソードルミネッセンス