2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[14a-2W-1~11] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

2015年9月14日(月) 09:15 〜 12:15 2W (234-2(北側))

座長:間野 高明(物材機構)

11:15 〜 11:30

[14a-2W-8] Ge(111)基板上へのGaAsのMBE成長におけるGaSb緩衝層の効果

〇梶川 靖友1、孫 一博1、早瀬 久貴1、後河内 健太1、入江 将大1 (1.島根大総合理工)

キーワード:ヘテロエピタキシー、回転双晶、X線回折測定

Ge(111)基板上へのGaAsのMBE成長において、GaSb緩衝層を挟むことにより、回転双晶の発生を抑制できることがわかった。