[14p-PA9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[14p-PA9-11] 有機化合物 / N₂ 混合気体放電を用いた高窒素含有a-CN_x : H 膜の生成―薄膜の構造解析

〇平松 拳也¹、斉藤 秀俊¹、伊藤 治彦¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：マイクロ波プラズマCVD