[15a-1C-1~7] 13.5 デバイス／集積化技術

[15a-1C-6] シリコン可変障壁単電子ポンプの8GHz動作

〇山端 元音¹、西口 克彦¹、片岡 真哉²、藤原 聡¹ (1.NTT物性基礎研、2.National Physical Lab.)

キーワード：単電子、シリコン、電流標準

シリコン細線MOSFETのゲート電極に高速信号を印加しポテンシャル障壁を変化させることで単電子転送を行うシリコン可変障壁単電子ポンプにおいて、高速測定系の利用により、これまでで最高速の8GHz動作を達成した。単電子転送精度の周波数依存性についても議論する。