[15a-1E-1~10] 3.13 半導体光デバイス

△ [15a-1E-6] 分布反射器を有する半導体薄膜光検出器の構造設計

〇(D)平谷 拓生¹、雨宮 智宏²、西山 伸彦¹、荒井 滋久^1,2 (1.東工大電気電子、2.東工大量子ナノ)

キーワード：薄膜光検出器、分布反射器、半導体薄膜構造

近年のLSI内素子の微細化に伴う長距離電気配線での信号遅延や発熱などの問題の解決策として光配線への代替が提案されている。チップ上光集積回路を実現するために光検出器の高性能化・小型化が必要である。これまでに薄膜導波路型光検出器の10Gbit/s動作を実現してきたが、今回、導波路構造の後方に分布反射器を付加することにより、レーザへの戻り光反射率を-30 dB程度に保ったまま素子長を40%程度短縮できることを明らかにした。