2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ診断・計測

[15a-2V-1~10] 8.2 プラズマ診断・計測

2015年9月15日(火) 09:00 〜 11:30 2V (234-1(南側))

座長:佐々木 浩一(北大)

09:00 〜 09:15

[15a-2V-1] リモートプラズマ中の水素原子密度の測定

〇布村 正太1、片山 博貴2、吉田 功2,3 (1.産総研、2.パナソニック、3.PVTEC)

キーワード：水素原子、真空紫外吸収分光法