[15a-4E-1~7] 7.1 X線技術

[15a-4E-4] サブミクロン～ナノの識別能を有する新型Ｘ線２次元検出器（その１）

〇副島 啓義¹、柿原 利之²、阿井 稔晴²、森 邦芳²、渡辺 宏之² (1.応用科研、2.浜松ホトニクス)

キーワード：X線検出器、２次元検出器

画素毎のフォトンカウンティングが可能でＳ／Ｎが良い検出器と、画素毎の計測値の相互演算が可能な検出器を開発し、微細領域におけるＸ線強度分布を正確に計測することから、サブミクロン～ナノサイズの可視化と定量的識別が可能な２次元検出器を開発した