2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[15p-4C-1~14] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

2015年9月15日(火) 14:00 〜 17:45 4C (432)

座長:塩島 謙次(福井大)

15:00 〜 15:15

[15p-4C-5] キャップ/供給層界面制御によるAlGaN/GaN HEMT のゲートリーク電流低減効果

〇山田 敦史1、小谷 淳二1、石黒 哲郎1、苫米地 秀一1、中村 哲一1、渡部 慶二1 (1.富士通研)

キーワード:窒化ガリウム、有機金属化学気相成長、高電子移動度トランジスタ