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△ [16a-2F-7] 共振器集積導波モード共鳴フィルタの反射位相回転の実験的検討
キーワード:波長フィルタ、導波モード共鳴、導波路共振器
共振器集積導波モード共鳴フィルタは導波路共振器とグレーティングカップラから成る,微小開口で機能する空間光フィルタである。狭帯域の反射スペクトルだけでなく急峻な反射位相変化を示す。大きな反射位相変化は微小共振器レーザのミラーへの応用に有用である。これまで解析モデルを提案し,2πの位相変化を得る構造を理論的に検討してきた。今回,異なる膜厚の導波路を作製し,光学実験により位相変化の膜厚依存性を確かめた。