[16a-2R-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-2R-3] Fe₃Si/Si(111)ヘテロ界面の熱安定性の評価

〇前田 佳均^1,2、川久保 雄基¹、寺井 慶和¹、鳴海 一雅²、境 誠司² (1.九工大院情報工、2.原子力機構)

キーワード：Fe3Si/Siヘテロ界面、イオンビーム解析、ホイスラー合金

本研究では，デバイス応用上も重要であるFe₃Si/Si(111)：2元系ヘテロ界面のイオンビーム解析を行い，その熱安定性を支配する要因について検討した．熱的安定性を静的原子変位もとめて評価した結果，673Kを境にして変位がほとんど変化しない領域１と急激に変化する領域2があることを見出した．それぞれの領域の物理的要因について考察した．