2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月11日(水) 09:00 〜 12:30 A29 (6A-204)

09:30 〜 09:45

[11a-A29-3] Auナノチャネルのエレクトロマイグレーションによる質量輸送過程のIn-Situ AFM観察

〇八木 麻実子1、齋藤 孝成1、白樫 淳一1 (1.東京農工大学院工)

キーワード:エレクトロマイグレーション、原子間力顕微法、ナノワイヤ