09:30 〜 09:45
[11a-A29-3] Auナノチャネルのエレクトロマイグレーションによる質量輸送過程のIn-Situ AFM観察
キーワード:エレクトロマイグレーション、原子間力顕微法、ナノワイヤ
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2015年3月11日(水) 09:00 〜 12:30 A29 (6A-204)
09:30 〜 09:45
キーワード:エレクトロマイグレーション、原子間力顕微法、ナノワイヤ