[11p-A26-1~16] 7.1 X線技術

[11p-A26-12] プリパルスレーザー照射時の ドロップレットの挙動III

〇砂原 淳¹、竹内 靖¹、佐々木 明³、西原 功修² (1.レーザー総研, 2.阪大レーザー研, 3.原研関西研)

キーワード：EUVリソグラフィ、レーザープラズマ、輻射流体力学