[11p-B2-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11p-B2-7] 連続ＵＶナノインプリントにおける離型層の耐久性の検討

〇伊吉 就三¹、岡田 真¹、春山 雄一¹、松井 真二¹ (1.兵庫県立大学　高度産業科学技術研究所)

キーワード：UVナノインプリント